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真空泵是提高過(guò)濾效率，加強(qiáng)脫氣效果的重要過(guò)濾配套設(shè)備。為保障過(guò)濾介質(zhì)不被污染，一般均使用無(wú)油隔（膜式）真空泵。此類泵型的真空壓力一般在0.08Mpa左右（單級(jí)），而提高過(guò)濾速度關(guān)鍵是單位時(shí)間內(nèi)排氣量，即真空泵的流量指標(biāo)。在過(guò)濾量大，介質(zhì)粘度高，顆粒堵塞濾膜場(chǎng)合尤顯突出。

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